సబ్స్ట్రేట్:B270
డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్: -0.1మి.మీ
మందం సహనం: ±0.05మి.మీ
ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్:1(0.5)@632.8nm
ఉపరితల నాణ్యత: 40/20
లైన్ వెడల్పు:0.1mm & 0.05mm
అంచులు:గ్రౌండ్, గరిష్టంగా 0.3 మిమీ.పూర్తి వెడల్పు బెవెల్
క్లియర్ ఎపర్చరు: 90%
సమాంతరత:<5”
పూత:Tజె0.5%@200-380nm,
టి>80%@410±3nm,
FWHMజె6nm
టిజె0.5%@425-510nm
మౌంట్:అవును