సబ్స్ట్రేట్:ఐచ్ఛికం
డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్:-0.1మి.మీ
మందం సహనం:± 0.05mm
ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్:1 (0.5)@632.8nm
ఉపరితల నాణ్యత:40/20
అంచులు:గ్రౌండ్, గరిష్టంగా 0.3 మిమీ.పూర్తి వెడల్పు బెవెల్
క్లియర్ ఎపర్చరు:90%
సమాంతరత:<30"
పూత:రాబ్స్<0.3%@డిజైన్ తరంగదైర్ఘ్యం